Regulator masenog protoka (MFC) tip 8713 pogodan je za regulaciju masenog protoka gasova u velikom opsegu protoka. Termalni MEMS senzor nalazi se direktno u struji gasa i stoga postiže vrlo brzo vreme odziva. Integrisani PI kontroler osigurava izvanredne upravljačke karakteristike MFC -a. Komunikacija sa glavnim uređajima je potpuno digitalna, stoga nisu potrebne dalje analogno/digitalne konverzije.
- Nominalni protok se kreće od 0,010 l/min do 80 l/min
- Digitalna komunikacija putem RS485
- Kompaktna verzija
